恒程创新代理深圳泰德半导体装备有限公司登记“在线式射频等离子清洗控制软件”的软件著作权，并成功取得计算机软件著作权登记证书。证书号：软著登字第8237322号，登记号：2021SR1514696。

“在线式射频等离子清洗控制软件”是面向In-line Plasma清洗领域，实现人机互动，实现设备运行、功能要求。主要功能：1. 数据交互。2. 人机互动。3. 数据监控。技术特点：1.利用计算机算法，实现运动控制、射频控制、IO控制。2.通过计算机的通讯协议，控制相应的PLC和射频。3.利用计算机算法，对可编程控制器（PLC）进行数据实时交互。

“在线式射频等离子清洗控制软件”的成功登记，为该软件取得权属证明，让自身权益得到了有效的保障，在维权时也能及时拿出权属证明，有效的维护自身合法权益。